韓國FLOWELL特氣柜(Gas Cabinet),氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣瓶架(Rack)、閥門箱(VMB),閥門盤(VMP),
主要應(yīng)用于:半導體,太陽能電池,微電子等需要超純潔凈氣體的行業(yè)。
主用用于為PECVD,MOCVD等設(shè)備提供潔凈,安全的氣體。
有單瓶柜,雙瓶柜,控制有全自動,半自動,手動型
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