韓國MAT尾氣處理設(shè)備(Scrubber)適用于:非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中產(chǎn)生的廢氣.
處理的氣體包括:SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下優(yōu)點:
1. 整機設(shè)計美觀, 安全標(biāo)準(zhǔn)。
2.擁有處理量特大﹑效率高﹑及長時間運轉(zhuǎn)。
3.操作容易上手、保養(yǎng)簡單快速、零料件經(jīng)久耐用,性價比高
4.燃燒反應(yīng)室可定時自動清潔, 長時間運轉(zhuǎn)效率穩(wěn)定。
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