近年來,多功能集成化傳感器研究受到國內(nèi)外的廣泛關(guān)注,國內(nèi)外文獻(xiàn)報道,已經(jīng)有用于環(huán)境監(jiān)測、化學(xué)分析、生物保護(hù)等方面的集成傳感器。隨MEMS技術(shù)和比技術(shù)的不斷發(fā)展,實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化成為可能。1995年,黑龍江大學(xué)溫殿忠教授提出JFET壓/磁電效應(yīng)基本理論,用標(biāo)準(zhǔn)的松弛方法研究了結(jié)型場效應(yīng)晶體管的磁電效應(yīng)。
      隨著傳感器及微電子技術(shù)的發(fā)展,人們可以在同一材料上制作幾種敏感元器件,制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結(jié)構(gòu)形式:幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片,制成集成化多功能傳感器,該種傳感器集成度高、體積小,各個敏感元器件的工作氛圍相同,容易實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償和校正,這是多功能傳感器發(fā)展的一個方向。
      幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器,可以同時測量幾個參數(shù),各敏感元器件是獨(dú)立的,如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起.構(gòu)成溫濕度多功能傳感器;用同一個敏感元器件的不同效應(yīng),得到不同的信息,如將線圈作為敏感元件,在具有不同磁導(dǎo)率或介電常數(shù)物質(zhì)的作用下,表現(xiàn)出不同的電容和電感。同一個敏感元件在不同激勵下表現(xiàn)出不同特性,例如傳感器施加不同的激勵電樂、電流,在不同溫度下,其特性不同,有時可相串于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起,需要用信號處理的方法將各種信息進(jìn)行分離。多功能集成化傳感器將隨著工業(yè)等自動化行業(yè)得到進(jìn)一步發(fā)展。如果以上資料還不夠清楚的可以留意我的官網(wǎng) http://www.szsst.net/ 希望可以幫助你解決問題
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