簡介:
美國AEPTechnology公司主要從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備,MEMS檢測設(shè)備,光學(xué)檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造,是表面測量解決方案行業(yè)的領(lǐng)先供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。公司始終致力于微觀表面“三維”檢測技術(shù)和設(shè)備的研發(fā)及推廣,歷經(jīng)近十年努力,已為30多個(gè)國家提供NanoMap系列三維表面形貌測量系統(tǒng)。
NanoMap-LS三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,臺(tái)階高度,二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三維粗糙度(Sa,Sq,Smax),劃痕截面面積,劃痕體積,磨損面積,磨損體積,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將臺(tái)階儀帶入了另一個(gè)高精度測量的新時(shí)代。
特點(diǎn):
1.    全自動(dòng)軟件控制
2.    0.1到100mg接觸力
3.    垂直分辨率可達(dá)0.1nm。
4.    每次掃描最少100點(diǎn),最多可達(dá)150,000數(shù)據(jù)點(diǎn)
5.    一體化彩色攝像機(jī)在掃描同時(shí)可直接觀察樣品
6.    簡單一鍵操作與用戶友好的操作界面
 
應(yīng)用領(lǐng)域:
測量表面可以覆蓋多種材料表面:金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等,對(duì)于植物表面,生物材料,聚合物表面,光刻膠等“柔軟表面”也可測量無須擔(dān)心劃傷或破壞。設(shè)備傳感器精度高,穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類產(chǎn)品最低的。
 
主要技術(shù)參數(shù)
垂直分辨率:0.1nm
重復(fù)性:0.54nm(1Sigema@1um)
垂直范圍:524um(1mm可選)
掃描范圍:150mmx150mm
 
 
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