多晶硅清洗用高純水設(shè)備原理:
去離子水:就是將水通過陽離子交換樹脂(常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂),則水中的陽離子被樹脂所吸收,樹脂上的陽離子H+被置換到水中,并和水中的陽離子組成相應(yīng)的無機酸;含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂(常用的為苯乙烯型強堿性陰離子)OH-被置換到水中,并和水中的H+結(jié)合成水,此即去離子水。去離子水在現(xiàn)代工業(yè)中有著非常廣泛的用途,使用去離子水,是我國很多行業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量的,趕超世界先進水平的重要手段之一。 由于去離子水中的離子數(shù)可以被人為的控制,從而,使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒細菌等物理、化學(xué)及病理等指標均得到良好的控制。在工業(yè)生產(chǎn)及實驗室的實驗中,如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水,那么,許多參數(shù)會更接近設(shè)計或理想數(shù)據(jù),產(chǎn)品質(zhì)量將變得易于控制。
綠洲去離子水是通過陰、陽離子交換樹脂對水中的各種陰、陽離子進行置換的一種傳統(tǒng)水處理工藝,陰、陽離子交換樹脂按不同比例進行搭配可組成離子交換陽床系統(tǒng),離子交換陰床系統(tǒng)及離子交換混床(復(fù)床)系統(tǒng),而混床(復(fù)床)系統(tǒng)又通常是用在反滲透等水處理工藝之后用來制取超純水,高純水的終端工藝,他是目前用來制備超純水、高純水不可替代的手段之一。其出水電導(dǎo)率可低于1uS/cm以下,出水電阻率達到1MΩ.cm以上,根據(jù)不同的水質(zhì)及使用要求,出水電阻率可控制在1~18MΩ.cm之間。被廣泛應(yīng)用在電子、電力超純水,化工,電鍍超純水,鍋爐補給水及醫(yī)藥用超純水等工業(yè)超純水,高純水的制備上。 采用陰床,陽床,混床
去離子超純水處理設(shè)備采用反滲透主機加兩級混床
去離子超純水處理設(shè)備 離子交換樹脂的工作原理
采用離子交換方法,可以把水中呈離子態(tài)的陽、陰離子去除,以氯化鈉(NaCl)代表水中無機鹽類,水質(zhì)除鹽的基本反應(yīng)可以用下列方程式表達:
1、陽離子交換樹脂:R—H+Na+ R—Na+H+ 2、陰離子交換樹脂:R—OH+Cl- R—Cl+OH-
陽、陰離子交換樹脂總的反應(yīng)式即可寫成:
RH+ROH+NaCl——RNa+RCL+H2O
由此可看出,水中的NaCl已分別被樹脂上的H+和OH-所取代,而反應(yīng)生成物只有H2O,故達到了去除水中鹽的作用。 離子交換陰樹脂 離子交換陽樹脂 離子交換拋光樹脂 離子交換柱 離子交換樹脂的預(yù)處理。
多晶硅清洗用高純水設(shè)備系統(tǒng)概述
離子交換系統(tǒng)是通過陰、陽離子交換樹脂對水中的各種陰、陽離子進行置換的一種傳統(tǒng)水處理工藝,陰、陽離子交換樹脂按不同比例進行搭配可組成離子交換陽床系統(tǒng),離子交換陰床系統(tǒng)及離子交換混床系統(tǒng),而混床系統(tǒng)又通常是用在反滲透等水處理工藝之后用來制取超純水,高純水的終端工藝,他是目前用來制備超純水、高純水不可替代的手段之一。其出水電導(dǎo)率可低于1uS/cm以下,出水電阻率達到1MΩ.cm以上,根據(jù)不同的水質(zhì)及使用要求,出水電阻率可控制在1~18MΩ.cm之間。被廣泛應(yīng)用在電子、電力超純水,化工,電鍍超純水,鍋爐補給水及醫(yī)藥用超純水等工業(yè)超純水,高純水的制備上。
多晶硅清洗用高純水設(shè)備統(tǒng)工作原理
采用離子交換方法,可以把水中呈離子態(tài)的陽、陰離子去除,以氯化鈉(NaCl)代表水中無機鹽類,水質(zhì)除鹽的基本反應(yīng)可以用下列方程式表達:
1、陽離子交換樹脂:R—H+Na+ R—Na+H+
2、陰離子交換樹脂:R—OH+Cl- R—Cl+OH-
陽、陰離子交換樹脂總的反應(yīng)式即可寫成:
RH+ROH+NaCl——RNa+RCL+H2O
由此可看出,水中的NaCl已分別被樹脂上的H+和OH-所取代,而反應(yīng)生成物只有H2O,故達到了去除水中鹽的作用。
多晶硅清洗用高純水設(shè)備主要工藝
去離子水的工藝大致可分為四種:
第一種:采用陽陰離子交換樹脂取得的去離子水,一般通過之后,出水電導(dǎo)率可降到10us/cm以下,再經(jīng)過混床就可以達到1us/cm以下了。但是這種方法做出來的水成本極高,而且顆粒雜質(zhì)太多,達不到理
想的要求。目前已較少采用了。
第二種:預(yù)處理(即砂碳過濾器+精密過濾器)+反滲透+混床工藝
這種方法是目前采用最多的,因為反滲透投資成本也不算高,可以去除90%以上的水中離子,剩下的離子再通過混床交換除去,這樣可使出水電導(dǎo)率:0.06左右。這樣是目前最流行的方法。
第三種:采用兩級反滲透方式
其流程如下:
自來水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
第四種:前處理與第二種方法一樣使用反滲透,只是后面使用的混床采用EDI連續(xù)除鹽膜塊
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