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  上海德國(guó)貝克真空泵油好

隨著信息科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品應(yīng)用層面愈益廣泛，車用及通訊用等電子產(chǎn)品持續(xù)發(fā)展。真空技術(shù)也隨之不斷創(chuàng)新，擴(kuò)展至包括PVD/CVD鍍膜制程、靜電吸附盤及蝕刻制程等設(shè)備，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)己占有舉足輕重的地位。但是半導(dǎo)體工業(yè)在芯片加工過(guò)程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強(qiáng)氧化劑，因而要求在工藝加工過(guò)程中廣泛使用的真空泵及其用油具有非常優(yōu)越的適應(yīng)性。
通常用的真空泵油有兩種:碳?xì)浠衔镉团c全氟聚醚油(PFPE)。碳?xì)浠衔镉蜆O易燃燒，化學(xué)結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，容易降解，使得潤(rùn)滑性能容易降低，從而易導(dǎo)致真空泵出現(xiàn)故障。而PFPE由碳、氧、氟原子組成，屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類中的ISO-6743A-1987/DVB、DVD、VDF類油品。該油品中的氫原子全部為氟原子取代，由其分子結(jié)構(gòu)特點(diǎn)決定，具有絕佳的熱穩(wěn)定性、化學(xué)惰性、不燃性。能夠在VF3、PH3、AsH3及其它鹵素化合物(BF3、BC13、PC13、TIC14、SnC14、SIC14)等具有強(qiáng)腐蝕性的環(huán)境中保持穩(wěn)定，甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用。與常規(guī)的油品相比，不僅安全，而且使用壽命長(zhǎng)。PFPE可用于有制氧系統(tǒng)和有腐蝕氣體的半導(dǎo)體系統(tǒng)和強(qiáng)輻射的場(chǎng)合，尤其是針對(duì)半導(dǎo)體芯片加工過(guò)程中有特殊氣體及強(qiáng)腐蝕性化學(xué)物質(zhì)的蝕刻制程和沉淀過(guò)程。

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