產(chǎn)品尺寸:199.1H*135D*205Wmm
有效寬度:6,14,28mm
清 晰 度:9600/19200/38400dpi
像素大?。?/strong>0.66um/1.32um/2.65um
線掃速率:3.57kHz
焦距范圍:±0.1mm 
工作距離:52.4/70.2mm
數(shù)據(jù)接口:USB3.0
主要應(yīng)用:晶圓表面, 太陽能電池板,硅晶片等
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