規(guī)格:
1)加熱部分
—      增壓式強(qiáng)制熱風(fēng)系統(tǒng),直聯(lián)高溫馬達(dá)驅(qū)動(dòng),變頻調(diào)整風(fēng)速
—      8個(gè)加溫區(qū),16個(gè)加熱模塊(上8個(gè)/下8個(gè)),獨(dú)立溫控及開(kāi)關(guān)
—      不銹鋼爐膛
—      溫度控制范圍:室溫-300℃
—      溫度控制精度:±1℃(靜態(tài))
—      基板橫向溫度偏差: ±2℃
2)冷卻部分
—      軸流風(fēng)機(jī)強(qiáng)制水冷卻(雙冷卻區(qū))
—      外置3匹冷水機(jī)制冷
—      冷水溫度可調(diào),冷卻區(qū)溫度顯示
3)控制部分
—      PIII工業(yè)電腦控制,WINDOWS98操作界面,中英文繁簡(jiǎn)體在線自
由切換,15″LCD顯示器
—      溫度曲線測(cè)量及分析功能,虛擬仿真功能
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