偏心輪在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動,使由滑環(huán)和滑桿分隔的兩個工作室容積作周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵?;y真空泵主要由泵體、滑環(huán)、偏心輪、轉(zhuǎn)動軸和滑桿組成。圖為滑閥真空泵的工作原理,圖中a、b、c表示工作循環(huán)。轉(zhuǎn)動軸的軸心與泵腔中心重合。在滑環(huán)上固定的長方形滑桿,能在裝于泵體中的滑動導(dǎo)軌中上下滑動和左右擺動。泵腔被滑環(huán)和滑桿分隔成A、B兩個工作室。偏心輪逆時針方向旋轉(zhuǎn)時,B室容積逐漸減小,吸入的氣體逐漸被壓縮,壓力逐漸增高。同時,A室容積則逐漸擴大,其中的氣體壓力不斷降低,被抽氣體便從滑桿的腔孔源源不斷地從吸氣口吸入A室。當B室氣體壓力上升到高于大氣壓力時,便推開排氣閥排入大氣;而A室容積則達到最大值,這時吸氣終了,從而完成一個工作循環(huán)。偏心輪連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn),氣體便不斷地被吸入、壓縮和排出而達到連續(xù)抽氣的目的。在泵腔內(nèi)各相對運動件表面間有油膜密封,所以這種真空泵是一種油封式機械真空泵。滑閥真空泵極限壓力:單級泵為0.4帕,雙級泵為0.065帕;工作壓力范圍為1×10~13帕;抽速范圍為8~600升/秒(1升=10米)?;y真空泵可單獨作用或作為真空機組的前級泵。如安裝氣鎮(zhèn)閥,可抽含有少量可凝性蒸汽的氣體?;y真空泵在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬和真空蒸餾等方面都得到廣泛應(yīng)用。
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