供應(yīng)白光干涉儀，納米深度3D形狀顯微檢測(cè)儀，SWIM1510MS

白光干涉儀器SWIM-1510MS

SWIM1510MS 產(chǎn)品特點(diǎn)及用途         結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含 ●  晶體（Wafer）
●  光盤(pán)/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））
●  平面電組件（MEMS Components）
●  平面液晶顯示器（LCD）
●  高密度線路印刷電路板（HDI PCB））
●  IC封裝（IC Package））
    以上其它材料分析與組件微表面研究 專(zhuān)業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo） ●  提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
●  提供自動(dòng)表面平整化處理功能
●  提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
●  深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
●  線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
●  （waviness）的測(cè)量分析?？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)（Wafer）
●  區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析。
●  具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。
●  量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出 專(zhuān)業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo） ●  系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋
●  垂直高度可達(dá)0.1nm
●  高度的分析算法則，讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果
●  垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易
●  有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
●  平臺(tái)XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利
●  具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得最佳的干涉條紋對(duì)比。
●  具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇。
●  具有專(zhuān)利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。
●  具有自動(dòng)布補(bǔ)點(diǎn)功能
●  可自行設(shè)定掃描方向 技術(shù)規(guī)格參數(shù) 型號(hào)SWIM1510MS 系統(tǒng)配備顯微鏡、掃描控制器、移動(dòng)平臺(tái)、取像單元、個(gè)人電腦 顯微鏡單眼顯微鏡（標(biāo)準(zhǔn)配件） 干涉物鏡（選配）放大率10X    20X    50 視野（ mm）0.5    0.25    0.1 光學(xué)解析度（mm）1.12    0.84    0.61 影像縮放1.0X（標(biāo)配）    0.5X（選配） 垂直掃描控制器掃描范圍100um    400um 掃描解析度0.1nm 掃描模式自動(dòng) 光強(qiáng)度調(diào)整自動(dòng)/手動(dòng) 掃描速度12nm/s 樣品移動(dòng)平臺(tái)X、Y平面移動(dòng)平面150mm*100mm，手動(dòng)（標(biāo)準(zhǔn)配件） Z軸移動(dòng)平臺(tái)80mm，手動(dòng)（標(biāo)準(zhǔn)配件） 位置數(shù)位顯示單元三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)位顯示器（解析度 1um） 偏移調(diào)整平臺(tái)手動(dòng) 取像單元影像感測(cè)量面型CCD（標(biāo)準(zhǔn)配件） 感測(cè)器解析度640*480（標(biāo)準(zhǔn)配件） 電腦配置Pentium-Computer ，17"LCD Monitor，120G以上硬盤(pán) 分析軟體MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體 包含ISO粗糙度/階高分析，快速薄利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D觀測(cè)視角圖，外形分析，圖像縮放，標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換等等 階高標(biāo)準(zhǔn)片（選配）50nm170nm230nm470nm1800nm

供應(yīng)白光干涉儀，納米深度3D形狀顯微檢測(cè)儀，SWIM1510MS