江蘇實為半導(dǎo)體科技有限公司-東莞MOCVD過濾器配套設(shè)備廠家1234a3211
是國內(nèi)前列的MOCVD等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件和耗材供應(yīng)商。由唐山實為半導(dǎo)體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設(shè)有辦事處。我國的半導(dǎo)體制造業(yè)在近年有了長足發(fā)展,但所使用的設(shè)備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進口。1234a3211
VeecoSomitJoshi在“用于提高功率器件性能的硅基氮化鎵MOCVD進展”的演講中表示,新興的中/高電壓應(yīng)用在電力供應(yīng),替代能源以及數(shù)據(jù)中心,都需要更高的功率效率,滿足較高的工作溫度以及更小的系統(tǒng)規(guī)模。氮化硅在這些參數(shù)上遠遠好于硅。1234a3211
由于工藝的嚴(yán)苛要求,這些設(shè)備在使用過程中有些關(guān)鍵部件只有一定壽命,需要定期更換。同時這些部件的技術(shù)升級對于提升設(shè)備整體的性能非常有效。目前這些備件主要是從國外大量進口,價格昂貴并且技術(shù)升級緩慢,國產(chǎn)化替代的需求十分強烈,市場前景非常廣闊。結(jié)合我司技術(shù)團隊多年在國外從事半導(dǎo)體研發(fā)的經(jīng)驗,通過刻苦攻關(guān),我司填補了國內(nèi)商用大功率MOCVD加熱器的空白,受到客戶的高度肯定。-東莞MOCVD過濾器配套設(shè)備廠家1234a3211MOCVD設(shè)備將Ⅱ或Ⅲ族金屬有機化合物與Ⅳ或Ⅴ族元素的氫化物相混合后通入反應(yīng)腔,混合氣體流經(jīng)加熱的襯底表面時,在襯底表面發(fā)生熱分解反應(yīng),并外延生長成化合物單晶薄膜。與其他外延生長技術(shù)相比,MOCVD技術(shù)有著如下優(yōu)點:1、用于生長化合物半導(dǎo)體材料的各組分和摻雜劑都是以氣態(tài)的方式通入反應(yīng)室,因此,可以通過控制氣態(tài)源的流量和通斷時間來控制外延層的組分、摻雜濃度、厚度等??梢杂糜谏L薄層和超薄層材料。1234a3211
反應(yīng)室是由石英管和石墨基座組成。為了生長組分均勻、超薄層、異質(zhì)結(jié)構(gòu)的化合物半導(dǎo)體材料,各生產(chǎn)廠家和研究者在反應(yīng)室結(jié)構(gòu)的設(shè)計上下了很大功夫,設(shè)計出了不同結(jié)構(gòu)的反應(yīng)室。1234a3211
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