佛山市南海羅村炫辰鈦金廠

機(jī)型\項(xiàng)目 TG5 TG6-9
鍍膜室規(guī)格 ?  ?700mm -800mm *800mm -880mm ?900mm -1000mm *1000mm -1200mm
極限真空度 ?  ≤7.6×10-4Pa
冷態(tài)抽真空時(shí)間 從1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分鐘 ? 
機(jī)組配置 KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組 KT-400擴(kuò)散泵機(jī)組
或KT-500擴(kuò)散泵機(jī)組 KT-600擴(kuò)散泵機(jī)組
靶配置 5個(gè)電弧靶1個(gè)磁控靶 6-9個(gè)電弧靶2個(gè)磁控靶 2個(gè)大面積弧靶2對(duì)孿生靶
配電要求 ?  40KW 50KW 60KW
備注 可根據(jù)用戶產(chǎn)品、產(chǎn)量、膜層特殊要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)設(shè)備