超純水是水中電解質(zhì)幾乎全部去除,水中不溶解的膠體物質(zhì)、微生物、微粒、有機(jī)物、溶解氣體降至很低程度,都是經(jīng)過膜過濾或混合床等終端精處理的水。目前,我國電子工業(yè)部把工業(yè)超純水水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。目前,制備超純水的方法通常采用反滲透,去離子或電去離子(EDI)等工藝。在水質(zhì)要求達(dá)10MΩ.cm以上,通常采用不同的工藝進(jìn)行組合搭配的方法來制取,例如采用反滲透加去離子,反滲透加EDI等。超純水已被廣泛運(yùn)用于電子、電力,化工,電鍍,鍋爐補(bǔ)給,實驗室及醫(yī)藥等眾多領(lǐng)域。
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