半導體電阻率測試儀http://www.ruike17.cn/nbruike-Products-17372932/主要技術指標:
電源:220V交流
可測晶片直徑(最大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:電流量程為0.01~1mA連續(xù)可調,誤差≦±0.5%。
數字電壓表:量程:0.1~200mV,最大分辨率:100μV
電阻率顯示:三位半數字顯示:小數點、極性、過載、自動顯示0.01-199.99歐姆。
輸入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
測量精度:±0.1。
最大電阻測量誤差(按JJG508-87進行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數±2個字。
重摻檢測誤差(JJG508-87進行):1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環(huán)境:溫度23±2℃,相對濕度≤65%
半導體電阻率測試儀將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。半導體電阻率測試儀因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。
半導體電阻率測試儀產品出處http://www.chem17.com/st262489/