深圳市中凈環(huán)球凈化科技有限公司

光伏無塵凈化車間：
    光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像鏡子一樣光亮的圓片，是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的原材料。目前微電子產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，集成電路技術(shù)已邁入0.18微米以下的時代，極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，同時對光伏新能源硅晶片的性能參數(shù)的要求也有較大的提高，因此光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂觀。
    光伏新能源凈化工程系統(tǒng)用的新風(fēng)空調(diào)機組（MAU）和循環(huán)空調(diào)機組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。
    1 CP室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，CP室工藝設(shè)備用酸量較多，采用全新風(fēng)空調(diào)機組（MAU-3）+高效過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效過濾器送風(fēng)-潔凈區(qū)。
    2 ML室凈化級別為7級，換氣次數(shù)取為30次/小時，采用新風(fēng)機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+高效過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。
    3 CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6 級，換氣次數(shù)取為50次/小時，采用新風(fēng)機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+高效過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。
    4 7級、6 級的無塵室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風(fēng)口送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。其氣流流程為：新回風(fēng)混合!中效空氣過濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-高效空氣過濾器送風(fēng)口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。
    5 洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級，采用新風(fēng)機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+風(fēng)機過濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4+、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機組（AHU）內(nèi)增設(shè)化學(xué)過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風(fēng)混合-化學(xué)過濾器（NH4+）-化學(xué)過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。
    凈化生產(chǎn)無塵車間的濕度是由新風(fēng)機組MAU-1、2來保證，控制新風(fēng)機組送風(fēng)狀態(tài)點，根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動執(zhí)行機構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度。露點溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。凈化生產(chǎn)無塵車間的溫度是由循環(huán)機組AHU來保證的，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器回水管上的電動二通閥的開度。中凈環(huán)球凈化可提供光伏無塵凈化車間的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工裝修等配套服務(wù)。更多凈化車間信息可查看：www.ccg-sz.com/treeshow.asp?id=1559&mnid=9&sh=109