上海兆茗光電科技有限公司

MKS氣體分析儀

          上海兆茗光電科技有限公司優(yōu)價銷售美國MKS射頻  /直流  /微波電源發(fā)生器、MKS氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器、MKS真空產品、MKS氣體分析儀、MKS測量，  控制儀

        美國MKS  是全球最著名的先進生產工藝控制設備供應商之一，  其產品廣泛地應用于各種半導體器件生產，  平板顯示器，  光學儲存介質，  玻璃鍍膜，  光電產品等生產設備及制藥和醫(yī)學成像設備。  MKS  前瞻性的創(chuàng)新開發(fā)，  推動其產品一直處于全球技術領先地位。  MKS  的電源，  測量，  控制和復雜氣體相關的工藝監(jiān)控技術，改善了設備完好率和產品成品率，  提高了生產產量和產品性能。  MKS  產品起源于我們的壓力測量和控制核心技術，  延伸到材料遞送，  氣體和薄膜成分分析，  靜電荷控制，  工藝控制，  信息管理，  電源和反應氣體發(fā)生器及真空技術。 

          MKS成立于  1961  年，總部位于美國東部波士頓以北的  Wilmington。  近三千名員工工作在全球各地十三個分公司，  七個研究中心，  十個生產基地  (其中中國深圳的  ENI電源工廠擁有近  500員工)  及  140  多個銷售辦事處和  30  多個技術服務中心。  公司在納斯達克上市，股票代碼：  MKSI。 

          MKS  擁有完整的技術及產品資源，  無論是產品的研發(fā)設計，  生產管理還是客戶支持服務，  都能快速滿足客戶的各種特殊需求。  MKS主要提供有：氣體壓力及流量測量和控制，  射頻  /直流  /微波電源發(fā)生器及測量工具，  氟離子  /臭氧反應氣體發(fā)生器，  真空產品，  氣體分析儀，  靜電控制及信息和控制技術等產品。 

流量測量、控制和驗證  Flow  Measurement，  Control  &  Verification

G系列通用數(shù)字質量流量控制器

通用數(shù)字質量流量控制器。精度為設定值的±1%、相應速度快于700毫秒、不同氣體及量程間自由切換。EtherNet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬（0-5V或4-20mA）和數(shù)字（RS-485、DeviceNet、Profibus）通訊接口可選。

·  GE50A  橡膠密封數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從10  sccm  –  50  slm。

·  GM50A  金屬密封數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從10  sccm  –  50  slm。

·  GV50A  帶截止閥的橡膠密封數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從10  sccm  –  50  slm。

壓力/真空測量 

Baratron?直接壓力/真空電容壓力計 

HPS?真空傳感器，儀表，傳感器和控制器 

MKS是全球領先的壓力和真空測量。  MKS的家庭壓力和真空測量儀器包括的Baratron?電容壓力表，壓力傳感器，壓力開關，壓力控制子系統(tǒng)，真空和壓力表，真空及壓力傳感器和真空及壓力表控制器。

控制系統(tǒng)  Control  Systems

智能自動化方案

·  cLogic  供集散控制邏輯的自動化方案

·  可編程互鎖軟件

·  SenseLink?QM  在線質量檢測

·  Recipe引擎

子系統(tǒng)與可編程自動控制器

·  RMU帶緊湊網絡I/O的遠程檢測單元。

·  ECM  EtherNet控制模塊。

·  ECM2  EtherNet控制模塊和平臺

輸入/輸出口和集散控制

·  MacroNode?  緊湊型網絡輸入/輸出模塊

·  MicroNode?  以太網輸入/輸出系統(tǒng)

·  MultiTherm  1000  EtherCAT?通訊溫度控制器

·  AS01391  DeviceNet?數(shù)字型輸入/輸出VME板卡

·  AS01396  DeviceNet?數(shù)字型輸入/輸出VME板卡

·  A