廢氣處理系統(tǒng)包括:一個(gè)采用干性系統(tǒng)或濕性系統(tǒng)并通過(guò)廢氣排出管路與一個(gè)半導(dǎo)體器件制造系統(tǒng)相連的廢氣處理設(shè)備,和一個(gè)通過(guò)吸氣管路與廢氣處理設(shè)備相連的吸氣設(shè)備,該設(shè)備將廢氣從半導(dǎo)體器件制造系統(tǒng)吸入廢氣處理設(shè)備;其改進(jìn)包括一個(gè)設(shè)置在形成廢氣排出線的前、后排氣管之間的微粒分離裝置,該裝置能夠從廢氣中分離和去除包含在廢氣中的微粒,所述的微粒分離裝置包括:一個(gè)確定氣腔的氣體容器,該容器被用來(lái)容納包含微粒且通過(guò)前排氣管的后端部分排出的廢氣;及一個(gè)設(shè)置在氣腔中的廢氣引導(dǎo)件,該件具有確定一個(gè)內(nèi)部空間且設(shè)置有開口的引導(dǎo)壁,通過(guò)這些開口,內(nèi)部空間與氣腔相互連通,形成廢氣引導(dǎo)件的引導(dǎo)壁是為了引導(dǎo)當(dāng)吸氣設(shè)備在運(yùn)行時(shí)通過(guò)前排氣管的后端排入氣腔的廢氣,從而使廢氣在氣腔中在垂直、回轉(zhuǎn)流中流動(dòng)。
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