NT9800 光學輪廓儀
NT9800是目前功能最強大的光學輪廓儀,可快速地測量臺階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數(shù)。作為Vee行業(yè)領(lǐng)先的第九代NT系列產(chǎn)品線的最高端產(chǎn)品,NT9800可對0.1nm至10毫米尺寸進行非接觸式三維測量,并具有納米量級的垂直分辨率。
具有定標功能的NT9800能夠協(xié)助產(chǎn)前工藝及滿足產(chǎn)品開發(fā)的需要,并可作為一個向量產(chǎn)過渡地穩(wěn)定的,可靠的平臺。采用Vee獨有的內(nèi)部參考激光將測量的標準臺階上的偏差降低到最小,同時可彌補自環(huán)境或機械不穩(wěn)定性造成的系統(tǒng)飄移。NT9800將最強大的測量核心技術(shù)、全自動化功能、大于十年以上的量產(chǎn)支持體系,及使用簡便的界面集于一身,已成為要求苛刻的科學研究及生產(chǎn)實踐的最佳選擇。
行業(yè)領(lǐng)先的Wyko Vision軟件有超過200種的數(shù)據(jù)分析工具,包括自動序列測量、數(shù)據(jù)記錄及及時反饋和SPC的合格/不合格標準評判??蛇x的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件(針對100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地實現(xiàn)自動化,MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。
NT9800光學輪廓儀是一款操作簡便、目前最高端的光學輪廓儀.
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