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實驗中很多清洗都需要用到超純水設(shè)備制取的超純水,那么硅片清洗為什么要用到超純水?
硅片是半導(dǎo)體行業(yè)重要的基體材料。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)過嚴格清洗,清洗的目的在于清除表面污
染雜質(zhì),包括有機物和無機物,否則微量污染也會導(dǎo)致器件失效。那么硅片清洗為什么要用到超純水呢?
超純水起初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子
化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水,如今超純水已在芯片、精密儀器、電鍍涂裝、
汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
硅片清洗對水質(zhì)要求非常高,電阻率達18兆以上,而超純水能符合標準。超純水是一般工藝很難達到的程
度,水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。超純水設(shè)備采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)
、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及
有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
以上就是硅片清洗為什么要用到超純水的介紹。超純水設(shè)備應(yīng)用范圍在近幾年越來越廣泛,并且具有操
作簡單、水質(zhì)穩(wěn)定、運行成本低等特點,受到各行業(yè)的一致好評。
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